undefined
undefined
undefined
undefined
+
  • undefined
  • undefined
  • undefined
  • undefined

Импульсный источник питания постоянного тока серии G4, 40 кВт / 60 кВт

Служба поддержки:

почта:

  • Размер файла: 2.6MB

Введение в продукт

Приложение

Сплавы, графит, кремний‑алюминиевые материалы, ITO, AZO и другие мишени покрываются металлическими пленками, углеродистыми пленками, а также оксидными и нитридными пленками.

 

Особенности

  • Использование PFC и SiC для формирования полнодиодной мостовой схемы в сочетании с цифровой системой управления на базе DSP и FPGA;
  • Переключение между режимами постоянной мощности и постоянного тока; режим постоянной мощности обеспечивает повторяемость процесса нанесения покрытия.
  • Встроенная настройка дуги от 25 мкс до 500 мкс, адаптированная к различным процессам и целям; запрос накопительного счёта дуговых разрядов.
  • Одновременное обнаружение V‑Arc и I‑Arc позволяет быстро отключить выход, а также запуск встроенной запатентованной технологии, устраняющей остаточную энергию дуги, предотвращает возникновение дуговых разрядов между катодом и подложкой и обеспечивает высокую точность формирования пленочного слоя.

 

График характеристик мощности

 

 

Мощность источника питания, Вт

40 кВт

60 кВт

Спецификация модели

ЗИ/ДЦПульсG4.1-

40100

60100

Параметры ввода

Входное напряжение и частота

3×380 В переменного тока ±10% + заземление и 50–60 Гц

Параметры вывода

Режим работы

Постоянный ток и постоянная мощность (по умолчанию — постоянная мощность)

Максимальный выходной ток

100A

100A

Согласование мощности и напряжения

400V

600V

Максимальное напряжение зажигания

≥1000V

Выходная форма волны

Квадратная волна

Частота выходного сигнала

Постоянный ток и 40–60 кГц (заводская настройка — 50)

Пошаговая настройка

Шаг 1 кГц

Время интервала (режим 0 DC)

0–4 мкс (0 при выходе постоянного тока)

Время обнаружения дуги

<0,1 мкс

Энергия дуги

<0,2 мДж/кВт

Максимальная способность к гашению дуги

20000Arc/s

Режим вывода

Вашингтон · Импульс

Панельный дисплей

3,1‑дюймовый OLED‑экран

Разрешение дисплея

1 В/0,1 А/0,1 кВт, поддержка множественной настройки X10

Точность вывода

≤1%, сравнение заданных значений

 

Мощность источника питания, Вт

40 кВт

60 кВт

Спецификация модели

ЗИ/ДЦПульсG4.1-

40100

60100

Параметры вывода

Эффективность

≥90%, при условии номинальной мощности

Интерфейс связи

Аналоговый женский интерфейс (стандартный)

DB25 0-10 В пост. тока

Женский интерфейс RS-485 (стандартный)

Modbus-RTU, разъём DB9, контакты 1A и 2B

Женский интерфейс DP

(необязательно, отражается в суффиксе модели)

Профишьюс DB9, контакт 3A, 8B, 5GND

Внутренний интерфейс с зацеплением

DB25 (контакт 2 замкнут с 5)

Интерфейс электромагнитного клапана охлаждающей воды, 24 В пост. тока

GX-12, 2‑жильный мужской разъём, контакты 1 и 2

Другие параметры

Проводка входного кабеля RVV

Автоматический выключатель номиналом 160 А, сечением проводника ≥25 мм²

Подключение кабеля вывода

Предлагаемая модель ZY/TCDL-25 мм² ×2

Выходной клеммный блок KF57-3‑разрядный

Шестигранный болт М8

Заземляющий болт M8

10 мм² (зелёный/жёлтый)

Метод охлаждения/расход на входе

Водяное охлаждение/ ≥8 л/мин

Размер трубопровода охлаждающей воды: метрический быстросъёмный винтовой соединитель, Φ16 мм

Φ16 мм (наружный диаметр) × Φ12 мм (внутренний диаметр)

Размер блока питания (мм)

7U 19 «311Ш ×440Г ×737Г»

Чистый вес

Около 74 кг

Рабочая температура

+5℃-45℃

Запрос о продукте

Бизнес-лицензия
Все
  • Все
  • Управление продуктом
  • Новости и информация