Импульсный источник питания постоянного тока серии G4, 40 кВт / 60 кВт
Ключевые слова:
Категория:
-
Размер файла: 2.6MB
Введение в продукт
Приложение
Сплавы, графит, кремний‑алюминиевые материалы, ITO, AZO и другие мишени покрываются металлическими пленками, углеродистыми пленками, а также оксидными и нитридными пленками.
Особенности
- Использование PFC и SiC для формирования полнодиодной мостовой схемы в сочетании с цифровой системой управления на базе DSP и FPGA;
- Переключение между режимами постоянной мощности и постоянного тока; режим постоянной мощности обеспечивает повторяемость процесса нанесения покрытия.
- Встроенная настройка дуги от 25 мкс до 500 мкс, адаптированная к различным процессам и целям; запрос накопительного счёта дуговых разрядов.
- Одновременное обнаружение V‑Arc и I‑Arc позволяет быстро отключить выход, а также запуск встроенной запатентованной технологии, устраняющей остаточную энергию дуги, предотвращает возникновение дуговых разрядов между катодом и подложкой и обеспечивает высокую точность формирования пленочного слоя.
График характеристик мощности

| Мощность источника питания, Вт |
40 кВт |
60 кВт |
| Спецификация модели |
ЗИ/ДЦПульсG4.1- |
|
| 40100 |
60100 |
|
| Параметры ввода |
||
| Входное напряжение и частота |
3×380 В переменного тока ±10% + заземление и 50–60 Гц |
|
| Параметры вывода |
||
| Режим работы |
Постоянный ток и постоянная мощность (по умолчанию — постоянная мощность) |
|
| Максимальный выходной ток |
100A |
100A |
| Согласование мощности и напряжения |
400V |
600V |
| Максимальное напряжение зажигания |
≥1000V |
|
| Выходная форма волны |
Квадратная волна |
|
| Частота выходного сигнала |
Постоянный ток и 40–60 кГц (заводская настройка — 50) |
|
| Пошаговая настройка |
Шаг 1 кГц |
|
| Время интервала (режим 0 DC) |
0–4 мкс (0 при выходе постоянного тока) |
|
| Время обнаружения дуги |
<0,1 мкс |
|
| Энергия дуги |
<0,2 мДж/кВт |
|
| Максимальная способность к гашению дуги |
20000Arc/s |
|
| Режим вывода |
Вашингтон · Импульс |
|
| Панельный дисплей |
3,1‑дюймовый OLED‑экран |
|
| Разрешение дисплея |
1 В/0,1 А/0,1 кВт, поддержка множественной настройки X10 |
|
| Точность вывода |
≤1%, сравнение заданных значений |
|
| Мощность источника питания, Вт |
40 кВт |
60 кВт |
| Спецификация модели |
ЗИ/ДЦПульсG4.1- |
|
| 40100 |
60100 |
|
| Параметры вывода |
||
| Эффективность |
≥90%, при условии номинальной мощности |
|
| Интерфейс связи |
||
| Аналоговый женский интерфейс (стандартный) |
DB25 0-10 В пост. тока |
|
| Женский интерфейс RS-485 (стандартный) |
Modbus-RTU, разъём DB9, контакты 1A и 2B |
|
| Женский интерфейс DP (необязательно, отражается в суффиксе модели) |
Профишьюс DB9, контакт 3A, 8B, 5GND |
|
| Внутренний интерфейс с зацеплением |
DB25 (контакт 2 замкнут с 5) |
|
| Интерфейс электромагнитного клапана охлаждающей воды, 24 В пост. тока |
GX-12, 2‑жильный мужской разъём, контакты 1 и 2 |
|
| Другие параметры |
||
| Проводка входного кабеля RVV |
Автоматический выключатель номиналом 160 А, сечением проводника ≥25 мм² |
|
| Подключение кабеля вывода |
Предлагаемая модель ZY/TCDL-25 мм² ×2 |
|
| Выходной клеммный блок KF57-3‑разрядный |
Шестигранный болт М8 |
|
| Заземляющий болт M8 |
10 мм² (зелёный/жёлтый) |
|
| Метод охлаждения/расход на входе |
Водяное охлаждение/ ≥8 л/мин |
|
| Размер трубопровода охлаждающей воды: метрический быстросъёмный винтовой соединитель, Φ16 мм |
Φ16 мм (наружный диаметр) × Φ12 мм (внутренний диаметр) |
|
| Размер блока питания (мм) |
7U 19 «311Ш ×440Г ×737Г» |
|
| Чистый вес |
Около 74 кг |
|
| Рабочая температура |
+5℃-45℃ |
|
Предыдущая страница
Сопутствующие товары
Запрос о продукте
Свяжитесь с нами
Глобальные продажи:
Внутренние продажи:
Офис:
Зона высокотехнологичного промышленного развития Хэнъян, провинция Хунань, Китай
Быстрая навигация
Расследование