Двойные катоды (две мишени) для распыления металлических или полупроводниковых материалов особенно подходят для легирования материалов, а также для реактивного магнетронного распыления при осаждении оксидных, нитридных и карбидных пленок.

Особенности

Использование PFC и SiC для формирования полнодиодной мостовой схемы в сочетании с цифровой системой управления на базе DSP и FPGA;
Переключение между режимами постоянной мощности и постоянного тока; режим постоянной мощности позволяет лучше обеспечить повторяемость процесса нанесения покрытия.
Встроенная настройка времени подавления дугового разряда, позволяющая адаптироваться к различным объектам и процессам, а также ведение учёта числа дуговых разрядов и выполнение запросов по их количеству;
Одновременное обнаружение изменений V‑Arc и I‑Arc, быстрое отключение выхода, одновременное включение встроенной запатентованной технологии — устраняют остаточную энергию дуги, предотвращают возникновение дуговых разрядов на катоде и подложке и обеспечивают высокую точность формирования пленочного слоя.

График характеристик мощности

Мощность источника питания, Вт	20 кВт	30 кВт
Спецификация модели	ЗИ/МФГ4-
	2050	3060
Параметры ввода
Входное напряжение и частота	3×380 В переменного тока ± 10% + заземление и 50–60 Гц
Выходные параметры
Режим работы	Постоянный ток и постоянная мощность (по умолчанию — постоянная мощность)
Максимальный выходной ток	50A	60A
Согласование мощности и напряжения	400V	500V
Максимальное напряжение зажигания	≥1200V
Частота выходного сигнала	30–40 кГц, шаг 1 кГц
Время обнаружения дуги	<0,1 мкс
Энергия дуги	<0,3 МДж/кВт
Максимальная способность к гашению дуги	20000Arc/s
Панельный дисплей	3,1‑дюймовый OLED‑экран
Разрешение дисплея	1 В/0,1 А/0,1 кВт, поддержка множественной настройки X10
Точность вывода	≤1%, сравнение заданных значений
Эффективность	≥90%, при условии номинальной мощности
Интерфейс связи
Аналоговый женский интерфейс (стандартный)	DB25 0-10 В пост. тока

Мощность источника питания, Вт	20 кВт	30 кВт
Спецификация модели	ЗИ/МФГ4-
	2050	3060
Интерфейс связи
Женский интерфейс RS‑485 (стандартный)	Modbus-RTU, разъём DB9, контакты 1A и 2B
Женский интерфейс DP (необязательно, отражается в суффиксе модели)	Профишьюс DB9, контакт 3A, 8B, 5GND
Специализированный интерфейс контроллера газа Speedflo (опция)	DB9, женский разъём, контакты 1+2 — 0–10 В пост. тока
Внутренний интерфейс с зацеплением	DB25 (контакт 2 замкнут с 5)
Интерфейс электромагнитного клапана охлаждающей воды, 24 В пост. тока	GX-12, 2‑жильный мужской разъём, контакты 1 и 2
Другое
Проводка входного кабеля RVV	Автоматический выключатель 80 А, сечением проводника ≥10 мм²/16 мм²
Подключение кабеля вывода	Предлагаемая модель ZY-DJYJVRP 10×2×1,0 мм²
Выходной клеммный блок KF57-3‑разрядный	Шестигранный болт M6
Заземляющий болт M6	Конфигурация 4 мм² (зелёно‑жёлтая), клемма RV2‑4
Метод охлаждения/расход на входе	Водяное охлаждение/ ≥8 л/мин
Размер трубопровода охлаждающей воды: метрический быстросъёмный винтовой соединитель, Φ16 мм	Φ16 мм (наружный диаметр) × Φ12 мм (внутренний диаметр)
Размер блока питания (мм)	4U 19 «178В ×440Ш ×647Г»
Чистый вес	Около 43 кг
Рабочая температура	+5℃-45℃