Осаждение с помощью магнетронного распыления, повышение скорости осаждения пленки, улучшение адгезии пленки, снижение повышения температуры подложки, уменьшение дефектов в пленке.

Особенности

Блок питания использует цифровую систему управления на основе DSP и FPGA; OLED‑дисплей отображает и сохраняет состояние блока питания, обеспечивая возможность его оперативного запроса в любое время и динамического отслеживания в реальном времени.
Точность выходного продукта высокая, повторяемость процесса хорошая, а равномерность покрытия — также на высоком уровне;
Интеллектуальная система управления дугой повышает скорость подавления и повторного запуска дуги.

Мощность источника питания	10 кВт + 10 кВт (двойной выход)
Модель спецификации	ЗИ/ББДГ4-
Модель спецификации	20100x2
Параметры ввода
Входное напряжение и частота	380 В переменного тока + заземление и 50–60 Гц
Выходные параметры
Режим работы	Постоянное напряжение/шаг 1 В
Максимальный выходной ток	100 А × 2 (двойной выход)
Максимальное выходное напряжение	100 В (на каждый выход)
Выходная частота, кГц	40 кГц ± 0,01%
Рабочий цикл	15–90%
Выходная форма волны	Квадратная волна
Время обнаружения дуги	<0,1 мкс
Энергия дуги	<0,2 мДж/кВт
Максимальная способность к гашению дуги	20000Arc/s
Работа и отображение	3,1‑дюймовый OLED‑дисплей
Разрешение дисплея	1V/0.1A/0.1KW
Точность вывода	≤1%, сравнение заданных значений
Эффективность	> 90% при условии номинальной мощности

Мощность источника питания	10 кВт + 10 кВт (двойной выход)
Модель спецификации	ЗИ/ББДГ4-
Модель спецификации	20100x2
Интерфейс связи
Аналоговый женский интерфейс (стандартный)	DB25 0-10 В пост. тока
Женский интерфейс RS-485 (стандартный)	Modbus-RTU, разъём DB9, контакты 1A и 2B
Женский интерфейс DP (необязательно, отражается в суффиксе модели)	Профишьюс DB9, контакт 3A, 8B, 5GND
Внутренний интерфейс сцепления	DB25 (контакт 2 замкнут с 5)
Интерфейс электромагнитного клапана охлаждающей воды, 24 В постоянного тока	GX-12, 2‑жильный мужской разъём, контакты 1 и 2
Другое
Проводка входного кабеля RVV	Автоматический выключатель с номинальным током 10 мм²/16 мм²/63 А
Подключение кабеля вывода	Предлагаемая модель ZY/TCDL-25 мм² ×2
Выходной клеммный блок KF57-3‑разрядный	Шестигранный болт M6
Заземляющий болт M6	4 мм² (зелёный/жёлтый)
Метод охлаждения/расход на входе	Водяное охлаждение / ≥8 л/мин
Размер трубопровода охлаждающей воды: метрический быстросъёмный винтовой соединитель, Φ16 мм	Φ16 мм (наружный диаметр) × Φ12 мм (внутренний диаметр)
Размер блока питания (мм)	4U 19 «178В ×440Ш ×566Г»
Чистый вес	Около 42 кг
Рабочая температура	+5℃-45℃