Ионный источник с анодным слоем серии P (ленточный ионный источник) 8 кВт / 10 кВт / 15 кВт
Ключевые слова:
Категория:
-
Размер файла: 2.5MB
Введение в продукт
Приложение
Очистка поверхности подложки от загрязнений (включая такие примеси, как собственные оксиды и углеводороды и др.), повышение адгезии пленки, уменьшение дефектов подложки, увеличение поверхностной энергии подложки, шероховатость поверхности подложки и нанесение DLC‑пленки.
Особенности
- Принят PFC‑контроллер и полный мостовой инвертор в сочетании с цифровой системой управления на базе ARM и DSP;
- Одновременное обнаружение быстрого отключения выхода V‑ARC и I‑ARC, а также одновременный запуск встроенной запатентованной технологии, позволяющей устранить остаточную энергию дуги, предотвратить разрядные дуговые явления с подложкой, обеспечить высокую точность нанесения пленки, повысить выход покрытых деталей, улучшить качество поверхности и адгезию пленочного слоя.

| Мощность источника питания |
8 кВт |
10 кВт |
15 кВт |
| Модель спецификации |
ЗИ/ПИОНГ4Ф- |
||
| 0803 |
1003 |
1505 |
|
| Параметры ввода |
|||
| Входное напряжение и частота |
3×380 В переменного тока ±10% + заземление и 50–60 Гц |
||
| Выходные параметры |
|||
| Режим работы |
Постоянное давление |
||
| Максимальный выходной ток |
3A |
3A |
5A |
| Максимальное выходное напряжение |
2500V |
3000V |
3000V |
| Частота выходного сигнала |
40KHZ |
||
| Выходной скважностный коэффициент |
10–90% (заводская настройка — 50) |
||
| Форма вывода |
Пульс |
||
| Время обнаружения дуги |
<0,1 мкс |
||
| Максимальная способность к гашению дуги |
20000Arc/s |
||
| Энергия дуги |
<0,2 мДж/кВт |
||
| Панельный дисплей |
3,1‑дюймовый OLED‑экран |
||
| Разрешение дисплея |
1V/1mA/1W |
||
| Точность вывода |
≤1%, сравнение заданных значений |
||
| Мощность источника питания |
8 кВт |
10 кВт |
15 кВт |
| Модель спецификации |
ЗИ/ПИОНГ4Ф- |
||
| 0803 |
1003 |
1505 |
|
| Выходные параметры |
|||
| Эффективность |
≥90%, при условии номинальной мощности |
||
| Интерфейс связи |
|||
| Аналоговый женский интерфейс (стандартный) |
DB25 0-10 В пост. тока |
||
| Женский интерфейс RS-485 (стандартный) |
Modbus-RTU, разъём DB9, контакты 1A и 2B |
||
| Женский интерфейс DP (необязательно, отражается в суффиксе модели) |
Профишьюс DB9, контакт 3A, 8B, 5GND |
||
| Внутренний интерфейс с зацеплением |
DB25 (контакт 2 замкнут с 5) |
||
| Другое |
|||
| Проводка входного кабеля RVV |
Автоматический выключатель 32 А, сечением проводника ≥6 мм²/10 мм² |
||
| Проводка выходного кабеля, 5 м, болт M4 |
Клемма HM-GYX-5 кВ/1,5 мм² OT4-5 |
||
| Заземляющий болт M6 |
Конфигурация 4 мм² (зелёно‑жёлтая), клемма OT4‑5 |
||
| Размер блока питания (мм) |
4U 19 «178В ×440Ш ×647Г» |
||
| Чистый вес |
Около 34 кг |
Около 35 кг |
Около 36 кг |
| Метод охлаждения |
Воздушное охлаждение |
||
| Рабочая температура |
+5℃-45℃ |
||
Предыдущая страница
Сопутствующие товары
Запрос о продукте
Свяжитесь с нами
Глобальные продажи:
Внутренние продажи:
Офис:
Зона высокотехнологичного промышленного развития Хэнъян, провинция Хунань, Китай
Быстрая навигация
Расследование